1｜Omówienie tlenku glinu i jego zastosowań Ceramika z tlenku glinu, ze względu na swoją izolację,-odporność na wysoką temperaturę, odporność na zużycie, odporność na korozję i wysoką stabilność chemiczną, jest szeroko stosowana w takich dziedzinach, jak półprzewodniki, nowa energia i-zaawansowana elektronika. W szczególności ceramika z tlenku glinu może dobrze przystosować się do ekstremalnych środowisk, takich jak próżnia i wysokie temperatury, dzięki czemu nadaje się jako surowiec do elementów procesowych w sprzęcie półprzewodnikowym. Same doskonałe materiały to zdecydowanie za mało; materiały te wymagają również doskonałych technik przetwarzania-w wysokiej klasy sprzęcie lub procesach, aby w pełni wykorzystać ich właściwości i osiągnąć większy przełom w precyzyjnej produkcji. Na przykład dysze gazowe stosowane w sprzęcie półprzewodnikowym wymagają dużej odporności na korozję, zwykle osiąganej w przypadku materiałów ceramicznych z tlenku glinu. Aby dysza mogła osiągnąć optymalną wydajność sterowania, wymagana jest precyzyjna technologia przetwarzania mikro-otworów w celu utworzenia dobrej struktury mikro-otworów, umożliwiającej dokładną kontrolę prędkości i objętości przepływu gazu/cieczy. Dlatego związek między tlenkiem glinu a dobrymi technikami przetwarzania wzajemnie się wzmacnia.
2｜Omówienie obróbki mikroporów tlenku glinu Obróbka ceramiki zawsze była wyzwaniem. Po pierwsze, jest to materiał twardy i kruchy; stosowanie tradycyjnych metod wiercenia mechanicznego łatwo powoduje mikro-pęknięcia i odpryski, co utrudnia zapewnienie wydajności. Po drugie, jest to materiał izolacyjny i nieprzewodzący-, dlatego nie można zastosować-precyzyjnej obróbki elektroerozyjnej. Przed pojawieniem się laserów femtosekundowych osiągnięcie-precyzji i{8}}jakości obróbki mikroporów ceramicznych z tlenku glinu było trudnym zadaniem. Jak zatem można ocenić wysoką precyzję i wysoką jakość? Innymi słowy, jak ocenić, czy wskaźniki przetwarzania mikroporów są dobre, czy złe? Uważam, że istnieją dwa aspekty: wielkość mikroporów i morfologia mikroporów.
1. Rozmiar mikroporu obejmuje: średnicę otworu i jego dokładność, okrągłość, zbieżność itp. Te trzy wskaźniki odzwierciedlają przede wszystkim trójwymiarowy- rozmiar mikroporu, natomiast dokładność reprezentuje odchylenie między wartością idealną a rzeczywistą wartością osiągalną dzięki technologii przetwarzania.
2. Morfologia mikroporów obejmuje: morfologię powierzchni i morfologię ścian bocznych. Te dwa wskaźniki sprawdzają głównie, czy wejście do otworu i ściana wewnętrzna- mają warstwę stopioną, odpryski, rozpryski, pęknięcia lub gładkość powierzchni. Wskaźniki te wpływają na przenikanie wiązek światła, gazów i cieczy, a także wpływają na niezawodność i żywotność produktu.
3｜Omówienie obróbki tlenku glinu za pomocą lasera femtosekundowego Laser femtosekundowy, jako-najnowocześniejsza technologia przetwarzania mikrootworów, wykazuje znaczące zalety w przetwarzaniu tlenku glinu. Dzięki wyjątkowo-krótkiej szerokości impulsu i niezwykle dużej mocy szczytowej może ablować każdy materiał stały bez przechodzenia przez stan stopiony. W połączeniu z drobnym grawerowaniem w-mikrometrowej skali mikrootwory są bardzo precyzyjne i mają doskonałą okrągłość. Ponadto obróbka na zimno laserów femtosekundowych zapobiega tworzeniu się warstw przetopu, mikropęknięć na powierzchni lub wewnętrznych ściankach tlenku glinu oraz nie powoduje żółknięcia ani czernienia materiału. Innymi słowy, niezależnie od metody przetwarzania lub proporcji składu ceramiki z tlenku glinu, lasery femtosekundowe mogą osiągnąć ultra-wysoką precyzję i wysoką-jakość obróbki mikrootworów. Obecnie lasery femtosekundowe umożliwiają obróbkę mikrootworów o minimalnej średnicy 0,02 mm (grubość 0,2 mm) i dokładności w granicach ±1 µm. Czy znasz jakieś inne technologie, które umożliwiają taką obróbkę mikrootworów?
